電子級磷酸性質、用途與生產工藝

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電子級磷酸性質、用途與生產工藝

電子級試劑電子級磷酸屬于高純磷酸，是電子行業廣泛使用的一種超高純化學試劑，主要用于芯片的濕法清洗和濕法蝕刻，包括基片涂膠前的清洗，光刻過程中的蝕刻及最終去膠以及硅片本身制作過程中的清洗和絕緣膜蝕刻、半導體膜蝕刻、導體膜蝕刻、有機材料蝕刻等。電子級試劑是芯片制造過程中十分重要的原材料。隨著芯片制程的不斷變小，芯片生產工藝對磷酸質量要求越來越高，生產難度也越來越大。此前電子級磷酸只有美國、德國Chemicalbook、日本、韓國等少數幾個國家可以生產，直到2019年才有國內廠家取得技術突破，可以自行生產電子級磷酸，并將之出口到三星等國際知名芯片制造廠商。性狀無色粘稠液體（＞42℃），密度：1.672g/ml，熔點：42.35℃，沸點：158℃，黏度：85%水溶液。用途電子級磷酸主要用于大規模集成電路（IC）、薄膜液晶顯示器（TFT-LCD）、半導體等微電子工業，主要用于芯片的清洗和蝕刻；還可制備高純磷酸鹽。電子級磷酸上下游產品信息

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